Nous proposons des machines à chargement manuel dédiées aux applications de traitement de surface et/ou aux dépôts de couches minces, destinées aux applications industrielles et à la R&D.

Ces machines se déclinent en différentes versions et niveaux d’équipements. Elles sont adaptables au besoin du client (volume et forme de la chambre, nombre de ligne de gaz…) et différentes possibilités de chargement/déchargement de pièces : Simple porte, double porte, à tiroirs ou à tambour rotatif.

Elles sont disponibles en version 40 kHz, radiofréquences (RF 13,56 MHz) ou plasma micro-ondes post-décharge (MW 2,45 GHz) selon l’application. Cette dernière est préconisée notamment pour traiter des matériaux sensibles. Les pièces à traiter ne sont pas en contact direct avec le plasma.

Le volume de la chambre peut varier de quelques litres à plusieurs m3.

(Voir quelques exemples de réalisations sur le diaporama).

La gestion est assurée par un automate ou un panel PC selon la demande. Le logiciel de gestion offre une grande souplesse d’utilisation et assure différents niveaux de sécurité et de traçabilité. Il vous permet de travailler aussi bien en mode manuel qu’en mode automatique.

Le choix du système de pompage dépend également de l’application (niveau de vide limite, cadence…) : Pompes primaires, groupes de pompage ROOTS, pompage turbo-moléculaire.

Plasmanet PCB

Dans l’industrie de fabrication des circuits imprimés (PCB), le plasma est utilisé pour graver les résidus issus des opérations de perçage (résines, produits carbonés), particulièrement sur les parois des trous. Il permet également de préparer la surface, offrant une excellente mouillabilité, y compris sur les PTFE, avant les opérations de métallisation.

Plasmanet post-décharge microondes

Plasmanet à double porte

Cette série permet de gérer un sens de production avec un flux entrant et un flux sortant.

Plasmanet à tiroirs

Plasma 40 kHz, Volume de 40 l à 200l

Plasmanet pour les grandes surfaces à traiter

Machine de traitement de panneaux photovoltaïques d’une surface de 3 m2.

Plasmanet à tambour rotatif

Pour la préparation de surface de pièces en vrac, nous proposons des machines à tambour rotatif. Le volume du tambour peut aller jusqu’à plusieurs dizaines de litres.